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为了降低洁净室的消耗,从洁净室的规划、设计阶段就要考虑节能问题。降低洁净室能耗的主要途径是合理确定洁净室的面积和恰当选择洁净度等级}合理选择净化空调系统形式,准确计算冷负荷和配置节能型设备;选用先进、能耗低的公用动力系统、设备;合理确定洁净室的围护结构等。可采取的节能措施包括:
⑴厂址、总平面布置,尽量选择大气污染小,产尘量小的场地建厂,场内布置时洁净室应布置在污染少的场所并注意朝向安排。
(2)工艺平面布置时,尽量减少洁净室的面积或减少洁净度要求严格的洁净室的面积|能不设置在洁净室内的工序、设备应设在非洁净区<恰当的确定各类房间的洁净度等级,不应随意提髙洁净度要求,组织好人流、物流和安排好辅助房间,与相关专业配合选择好洁净室的形式、空间布置等。
(3)合理确定洁净室的建筑形式,减少冷量损失。
⑥合理配置公用动力设备,如采用自由冷却系统,冷热电联产等。
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